SM-5100 光譜共焦2D/3D輪廓測量儀是利用光譜共焦位移傳感器測量產品的輪廓

SM-5100 光譜共焦2D/3D輪廓測量儀是利用光譜共焦位移傳感器測量產品的輪廓，SM-5100具有CCD自動對位功能，可以自動量測不能區域的厚度值，應用於厚膜的鍍膜厚度、PCB盲孔的刻蝕深度、雷射刻蝕表面深度、各種產品2D/3D深度的測量，SM-5100同時也可以量測線粗造度。SM-5100搭配OP2傳感器，厚度的測量準確度為:+/- 0.25um，量程最大高度為: 200um，X-Y軸平台的最大掃描行程為: 100mm*100mm。